リガクのテクノロジーが真空の夢をかなえます 磁性流体を使用した磁気シールの製造・販売

磁性流体シールとは

Point1 クリーンPoint2 高真空Point3 長寿命

磁性流体シールは半導体製造装置、ＦＰＤ製造装置、太陽電池製造装置など先端産業に使用される回転シールです。磁性流体により非接触にシールされた磁性流体シールはオイルシールなど接触シールと比較して「クリーン」「高真空」「長寿命」を特徴としています。

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製品情報

リガクが製造している磁性流体シールを『磁気シール』と呼んでいます。『磁気シール』は他社の磁性流体シールと比べて多くの利点があります。

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リガク磁気シール

規格品共通仕様 / リガク磁気シールの呼称の説明/
フランジタイプの説明


規格品カタログ

ミニチュアF1B-B / ミニチュアF2B-B / ミニチュアBSB-B /
ミニチュアLSB-B / ミニチュアFMB-B / スタンダードF1B-B /
スタンダードFMB-B / スタンダードF2B-B / スタンダードKMB-B /
カンチレバーF1B-C / カンチレバーFMB-C / カンチレバーCMB-C
スタンダードF1T-B / カンチレバーF1T-C


カスタムメイドモデル

多軸シール / ベローズ付き / 防じんシール / 高圧型 /
パージ機構付 / 片持型 / 真空チャック / ダイレクトドライブ /
超高真空対応


ロータリーエンコーダーシステム

研究・精密測量・ハイエンド工作機械など、精密な角度計測・制御が要求される分野に最適。

  • コンパクト： ワンボードで8ch一括信号処理
  • 高速： システムディレイを低減、リアルタイムで校正角度信号を出力
  • 高精度： 自己校正フルクローズドループ制御を実現

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よくあるご質問 Q&A